530

169

87

61

54

43

42

33

27

27

26

25

21

15

14

13

11

10

10

9

8

5

5

5

5

5

5

5

5

4

4

4

4

4

3

3

3

3

3

2

2

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2

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2

2

2

2

2

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2

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

21986

16499

906

707

230

187

126

70

56

45

31

17

14

10

6

5

4

3

1

19244

5410

5293

2099

1698

1573

1141

1131

1037

975

708

350

320

78

73

39

24

14

14

10